推荐《光刻巨人：ASML崛起之路》作者：[荷兰]瑞尼·雷吉梅克
本帖最后由 肥膘 于 2020-11-4 15:13 编辑有兴趣的可以看一下，ASML 的成长之路。
从不起眼的非标设备，到工业桂冠，合法印钱机。20世纪60年代，从第一个集成电路在美国诞生，美国在芯片上领先全球，在光刻设备生产商有GCA 的David Mann, Perkin-Elmer，到80年代被日本迎头赶上，1981年尼康推出了第一台步进光刻机，日本芯片生产商和设备商佳能，尼康团结一起，以精密技术和自产光学镜头，镜头甚至胜过蔡司，以卓越的品质击垮美国。1983年飞利浦和ASM设备代理商合资成立 ASML.前四年一直亏钱其靠ASM ， 飞利普，银行投钱。员工看不到公司的前景，其间ASM忍受不了一下亏损退出。Gjalt Smit首席执行官对未来外部市场的准确的判断对内部研发和工程技术人员的信任，并在1986年迎来第一位客户美国 MMI PAS 2400，在遇到困难时不惜重金在全球视野下寻求最好的外部资源帮助。同时依靠飞利浦Natlab实验室技术资源。也正是这样给ASML打下了良好的基础，并超过日本，在世界上独占鳌头。在技术上ASML从液压驱动晶圆台到电动晶圆台,诞生直线电机，对准（全局对准，裸片对准和双对准）系统，在设计架构上采用模块化设计来应对快速变化的工艺缩短设计，制造，装配，调式周期。
下载路径呢？ 本帖最后由 04031161 于 2021-1-31 08:49 编辑
亚马逊上找到了电子版的，四十几块钱
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