蔡司反射镜就是整个系统的心脏
荷兰《电讯报》报道，在德国南部小镇奥伯科亨（Oberkochen），隐藏着艾司摩尔维持未来几年霸权的核心筹码，也就是与光学专家蔡司的深度合作。在荷兰人的催促下，德国人不断突破物理极限，研发更精密技术，推动全球芯片竞赛。这座约8000人的小镇实际上掌控着全球计算力的演进节奏。艾司摩尔最先进的曝光机使用13.5纳米极紫外光（EUV）。尽管北京宣称已复制并原型化EUV，但光学系统仍是难以逾越的障碍。蔡司半导体光学元件制造总裁Christoph Hensche指出：“艾司摩尔设备能将芯片图案缩小到何种程度，很大程度上取决于光学系统提升分辨率的能力。我们的反射镜就是整个系统的心脏。”
蔡司反射镜物理精度比普通镜子高5万倍，最大一面直径1.2米、重400公斤，Hensche形象地说，“能透过这面反射镜，用激光击中月球上的一颗高尔夫球。”蔡司与ASML合作始于1980年代，1990年代投入EU技术时，蔡司义无反顾加入。
2008年金融危机前后也共同克服难关，2016年ASML斥资10亿欧元收购蔡司半导体业务24.9%股份。
下一代“Hyper-NA”技术已规划中，但Hensche强调，光学系统改良只是核心，光源、组件精度与系统设计同样关键。他指出，双方珍惜长期合作及共同创造的商业奇迹。
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