适用于显微镜物镜和光学定位的精密压电定位台

寂静回声

Aerotech的QFOCUS®QF−50压电纳米级定位台专为高性能显微物镜和光学定位而设计。它拥有400μm的闭环行程和450μm的开环行程，还拥有高速，0.01%的线性度，亚纳米级分辨率和4nm的双向重复性。QF−50适用于光学仪器和下一代激光微加工应用。由于采用高刚度机械设计，QF−50与同类压电扫描仪相比具有更大，孔径（NA）数值更高的物镜。QF−50是需要高精度、高产量及长行程光学定位应用的理想选择。



精密设计

QFOCUS_QF−50采用有限元分析优化后的精密弯曲导向，具有出色的刚度和谐振频率，可实现更高的产量和快速的闭环响应。它还精心考量了QF−50挠性轴承的设计，确保了其在整个行程范围内拥有无与伦比的几何性能，平直度误差达到40 nm。

直接计量反馈

使用独特电容式传感器设计的可选闭环反馈使得其拥有亚纳米级分辨率和高线性度。与箔式应变计或压阻式传感器不同的是，该电容式传感器可直接测量定位托架，具有优异的精度和重复性。

精确灵活的控制

当与Aerotech公司Q系列控制器和驱动器结合时，QF−50展示了其亚纳米级定位分辨率和内部定位稳定（抖动）的特性，同时保持较高的定位带宽。它还拥有高级软件选项，如动态控制工具箱和运动设计器，可提供各种高效且易于使用的工具，包括迭代学习控制，谐波消除和命令成形功能，从而提供更佳的错误跟踪功能和更快的步骤和定位时间。还可使用OEM驱动器选项。

安装灵活

QF−50拥有螺纹适配器，适用于大多数显微镜和物镜。显微镜的转台允许在任意方向快速简单地定位及安装。此外，定位台上的螺纹孔为机器或其他光学仪器中的定制接口提供了替代安装方式。QF−50具有标准的29 mm透明孔径，还可提供定制化定位台设计、行程和螺纹适配器。