LayTec原位测量技术 强化VCSEL制造

寂静回声

中国台湾纯代工厂Visual Photonics Epitaxy Co Ltd（VPEC，全新光电）近日宣布为其VCSEL（垂直腔面发射激光器）生产引进了德国柏林厂商LayTec的原位测量产品。



LayTec的EpiTT/VCSEL包括两个光纤测量头：一个用于标准EpiTT，另一个用于光谱反射率传感（R-VCSEL）。两个光纤测量头均可通过EpiCurve测量头上的转接法兰进行连接EpiCurve/VCSEL系统，该项设置可同时集成完整的EpiCurve TT性能和DBR（分布式布拉格反射镜）阻带和腔倾角位置的频谱监测功能。这款四合一计量工具安装于Aixtron G3行星式反应器顶部。EpiTT/VCSEL和EpiCurve TT/VCSEL由新型软件模块供电，可实现单阱和多阱运行。

为了支持全球3D传感和其它快速增长的应用对VCSEL芯片的需求，LayTec将VCSEL Add-On用于其EpiTT和EpiCurve TT系统，提供了额外的原位光谱反射率传感，并可在GaAs基和InP基近红外/红外（NIR/IR）VCSEL工艺波长范围内进行定制，实现这类高度复杂的多层结构器件的高良率制造。

VCSEL Add-On也可作为现有EpiTT或EpiCurve TT系统的升级版本。凭借配备先进的实时分析算法，除了EpiTT的晶圆温度和生长速率监测，以及EpiCurve TT的晶圆弯曲测量外，它还能够在VCSEL外延过程中监测DBR（分布式布拉格反射镜）阻带和腔倾角位置。


苹果iPhone X红外点阵投影器中的VCSEL芯片
来源：《苹果iPhone X红外点阵投影器》

“VPEC为VCSEL晶圆制造选择了LayTec市场领先的原位测量技术，作为实现我们高标准的品质和良率的基本要素，” VPEC高级副总裁Neil Chen评价说，“将现有的晶圆温度、晶圆弯曲和生长速率控制，结合新的频谱监测性能，是VCSEL代工厂工艺转移、快速调整配方和扩大规模的关键。”