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将增产半导体制造设备零部件

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发表于 2022-11-3 16:22:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
日本东洋炭素(Toyo Tanso)将增产用于半导体制造设备的碳纤维零部件。向位于香川县的工厂投入约70亿日元,在2025年之前把产能提高至现在的1.5倍。该公司认为在5G基站和纯电动汽车(EV)等领域,半导体需求在中长期有望增长。

将在生产技术中心(香川县观音寺市)和诧间事务所(该县三丰市)建设新厂房,增强生产设备。增产用于承载硅晶圆等的“基座(Susceptor)”和形成单晶硅块时的专用炉等碳纤维零部件。东洋炭素提出的目标是,使半导体相关零部件的营业收入到2026财年(截至2026年12月)增至2021财年近2倍的逾200亿日元。
  基座被用于在晶圆表面上形成薄膜的“外延生长”等工序。除了用于5G设备等的采用硅晶圆的高性能半导体之外,在采用碳化硅(SiC)晶圆的功率半导体领域,外延生长工序均不可或缺。据称东洋炭素在面向SiC半导体的基座领域掌握全球5成以上份额。
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