激光干涉仪精度问题

君越168

小弟在查看气浮导轨平台，（

X轴:300mm  Y轴:300mm，

重复定位精度，

X轴:±0.3μm   Y轴:±0.3μm，国内某品牌）（

X轴:300mm  Y轴:300mm，

重复定位精度，

X轴:±0.15μm   Y轴:±0.15μm，PI)国内我咨询是用 XL-80激光干涉仪 ，PI的不知。我个人查找的资料

XL-80激光干涉仪保证（

±0.5 ppm的线性测量精度），阿贝误差（角度1″（4.8um/1000mm）在50mm偏置距离下引起的误差大约是0.24um。）、环境因素、余弦误差、 死程误差等，激光干涉仪测量气浮平台的精度是不是值得怀疑？此外还有没有别的测量工具

寂静回声

如果有更高的定位精度需求，可以试试电容式传感器，电感式传感器

扬天测量

重复定位精度和线性精度是不一样的，激光干涉仪看重复定位精度绰绰有余。你计算的0.24微米是线性误差

君越168

扬天测量 发表于 2024-8-12 11:57
重复定位精度和线性精度是不一样的，激光干涉仪看重复定位精度绰绰有余。你计算的0.24微米是线性误差 ...

绝对定位精度X轴:±0.5μm   Y轴:±0.5μm 这个应该有影响吧？

归来

不用那么复杂，给你个雷尼绍技术的电话，问一下啥都会告诉你。

螺旋线

是检测用吧？用雷尼绍就行了。主要是得按规范用，环境恒温恒湿气场稳定，定温24小时后，开干。禁止喧哗打闹，无关人员清场，注意饮食，把屁憋住。